NEX1200 Flow & Pressure Controller

제품 특징

• NEX1200 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow Controller)에 Power(+/-15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage (0〜5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control 될 수 있도록 하는 장치이다.
• 또한, 2 Channel(PCB 한장)의 단위로 Capacitance Manometer Display Board를 이용하여 MFC대신 Capacitance Manometer의 압력을 Display 할 수 있도록 설계되었다.(0~10VDC Pressure signal)
• Option 사양으로 Upstream Pressure Control Board를 추가하면 따로 Pressure Control Mode로 들어갈 수 있어서, Channel에 연결된 MFC중에서 원하는 Channel들을 임의로 선택하여 Gas양을 가지고 원하는 압력을 자동으로 Control 할 수 있으며 동시에 압력도 Display할 수 있다. 여기서 Pressure Control Channel로 지정되지 않은 Channel은 따로 독립적으로 Flow양을 Control할 수 있다.
• 모든것이 Micro Processor로 Control되며 RS-232 Interface를 이용한 PC Control도 가능하다.