NEX2200 Vacuum Gauge Controller

제품 특징

• NEX2200 Vacuum Gauge Controller는 Hot Cathode Ionization Gauge, Convection Gauge 두개와 Capacitance Manometer를 동시에 연결하여 사용할 수 있으며, 진공측정 범위는 1 x 10-9 ~ 1000 Torr이다.
• 이것은 Convection Gauge와 Hot Cathode Ionization Gauge의 연속적인 측정범위에 해당한다.
• 또한 이Controller는 연결하는 gauge의 개수에 따라 원하는 대로 Control Card의 탈착이 가능하도록 설계 되었다. Interface 단자를 통해서 외부 다른기기와 연결할 수 있으며, 6~8개의 독립적인 Trip-Point Relay, 4개의 Analog Output, TTL IG on/off 기능으로 구성되어 있다.
• 별도의 내부 Set-Point를 이용하여 Convection Gauge의 압력측정 범위를 벗어나 고진공으로 진입할 때 자동으로 Ion Gauge를 켤수 있도록 하였으며, Degas 기능 또한 시간제어로 사용할 수 있다.