Vacuum Gauge Controller
총 2개 제품
NEX2000
NEX2000 Convection gauge Controller
NEX2000 Convection gauge Controller의 진공측정 범위는 8.0 x 10-4 ~ 1000 Torr이다.두개의 공정제어용 Trip-Point가 제공되며, 이것을 이용하여 공정의 자동화를실현할 수 있다.또한 RS-232 또는 RS-485 Protocol로 PC와 연결하여 사용할 수 있다.
NEX2200
NEX2200 Vacuum Gauge Controller
NEX2200 Vacuum Gauge Controller는 Hot Cathode Ionization Gauge, Convection Gauge 두개와 Capacitance Manometer를 동시에 연결하여 사용할 수 있으며, 진공측정 범위는 1 x 10-9 ~ 1000 Torr이다.이것은 Convection Gauge와 Hot Cathode Ionization Gauge의 연속적인 측정범위에 해당한다.또한 이Controller는 연결하는 gauge의 개수에 따라 원하는 대로 Control Card의 탈착이 가능하도록 설계 되었다. Interface 단자를 통해서 외부 다른기기와 연결할 수 있으며, 6~8개의 독립적인 Trip-Point Relay, 4개의 Analog Output, TTL IG on/off 기능으로 구성되어 있다.별도의 내부 Set-Point를 이용하여 Convection Gauge의 압력측정 범위를 벗어나 고진공으로 진입할 때 자동으로 Ion Gauge를 켤수 있도록 하였으며, Degas 기능 또한 시간제어로 사용할 수 있다.
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